Tài Liệu Kỹ Thuật
Những điều cần biết khi mua máy đo khí độc
1. Những điều cần biết khi mua máy đo khí độc
Những điều cần biết khi mua máy đo khí độc:
- Lựa chọn đúng loại khí độc cần đo
- Lựa chọn đúng dải đo của khí.
- Nên tìm hiểu về máy đo khí trước và có kế hoạch đặt hàng cụ thể, tránh tình trạng nước đến chân mới nhảy vì không có bên nào nhập hàng về tồn kho sẵn để bán những loại máy này.
- Tìm hiểu trước về một số tiêu chuẩn của loại khí độc cần đo.
- Lưu ý về việc hiệu chỉnh thiết bị sau 6 tháng – 1 năm sử dụng. Nên hỏi NCC về dịch vụ hiệu chỉnh thiết bị.
2. Các loại khí độc thông dụng có máy đo.
Danh sách khí đo (cảm biến)
| Khí đo | Dải đo | Nguyên lý đo | Model No. |
| SiH4 | 5 / 25ppm | Điện hóa | CDS-7 |
| PH3 | 1ppm | ||
| B2H6 | 500ppb | ||
| AsH3 | 250ppb | ||
| H2Se | 250ppb | ||
| Si2H6 | 25ppm | ||
| SiH2Cl2 | 25ppm | ||
| GeH4 | 1ppm | ||
| NH3 | 100ppm | ||
| HF | 10ppm | ||
| PF3 | 10ppm | ||
| HCl | 5 / 25ppm | ||
| HBr | 10ppm | ||
| F2 | 5ppm | ||
| Cl2 | 5ppm | ||
| ClF3 | 1ppm | ||
| O3 | 1ppm | ||
| CO | 250ppm | ||
| H2S | 50ppm | ||
| NF3 | 100ppm | điện hóa với pyrolyzer | |
| CCl4 | 100ppm | ||
| H2 | 500 / 1000ppm | Dây bán dẫn nhiệt | CHS-7 |
| O2 | 25vol% | Pin Galvanic | COS-7 |
*Vui lòng liên hệ với đại diện của bạn cho các loại khí khác ngoài những loại được liệt kê. (SO2 NO NO2 CH3F C4F6…)
3. Model máy đo đa khí độc nên mua .
Hướng dẫn sử dụng tiếng Anh: Tại đây (XPS-7 Manual)
Hướng dẫn sử dụng tiếng Việt: Tại đây
| Model | XPS-7 |
| Nguyên lý đo | Pin điện hóa |
| Loại khí đo | Các loại khí trong nhà máy sản xuất bán dẫn |
| Phương pháp lấy mẫu | Hấp thụ |
| Dải đo | Tùy theo thông số kỹ thuật của khí |
| Độ phân dải | 1/100 toàn dải |
| Sai số hiển thị | ±10% toàn dải |
| Chế độ cảnh báo | Cảnh báo 2 cấp độ |
| Hiển thị cảnh báo | Âm thanh, đèn nháy |
| Thời gian tiếp xúc | 60s hoặc thấp hơn (60% tiếp xúc) |
| Nhiệt độ làm việc | 0 đến 40°C |
| Nguồn cấp | 4 pin x AA alkaline (*1) hoặc sử dụng bộ đổi nguồn AC |
| Thời gian hoạt động*2 | Lên đến 12 giờ (dùng pin Ankan ở 20 độ C) |
| Kích thước | W62 x H150 x D128mm (Không bao gồm phần nhô ra) |
| Khối lượng | Xấp xỉ. 1.3kg |
| Phụ kiện chính | Vòi lấy mẫu khí có đầu dò, dây đeo vai, Pin Ankan x 4, giấy lọc khí dự phòng |
| Phụ kiện tùy chọn | Bộ đổi nguồn AC (100 VAC/6 VDC), sensor stocker, log data collection kit |
*1 Trong điều kiện đo giống hệt nhau.
*2 Tuổi thọ pin có thể thay đổi theo điều kiện môi trường xung quanh, điều kiện sử dụng, thời gian lưu trữ, nhà sản xuất pin, v.v.
Bài viết liên quan:
