PS-7 Cosmos Archives - Máy đo khí Nhật Bản

Đầu cảm biến đo khí độc PS-7 Cosmos

1. MÔ TẢ ĐẦU CẢM BIẾN ĐO KHÍ ĐỘC PS-7

PS-7 Cosmos là loại đầu cảm biến đo khí sử dụng trong các nhà máy sản xuất chất bán dẫn (các ngành điện tử, bán dẫn…)

Sensor đo khí bán dẫn PS-7 tuy chỉ sử dụng 1 sensor cho 1 loại khí nhưng nó có thể đo được nhiều loại khí bán dẫn khác nhau. Ví dụ: Khí SiH4, O3 (Ozone), HCl, HCN …

Đặc biệt, đầu đo khí PS-7 có tùy chọn sử dụng đường ống lấy mẫu dài 20 mét để đáp ứng đo khí ở những điều kiện khắc nghiệt (ví dụ: buồng sinh NH3 lỏng) và có thể xuất tín hiệu kết hợp với bộ PLC.

3. THÔNG SỐ KỸ THUẬT ĐẦU CẢM BIẾN ĐO KHÍ ĐỘC

Hướng dẫn sử dụng tiếng Anh tại đây (Manual English Version)

Hướng dẫn sử dụng tiếng Việt tại đây

Model	PS-7
	Loại tiêu chuẩn	Với một Pyrolyzer
Nguyên lý đo	Pin điện hóa,dây bán dẫn nhiệt, Pin Galvanic	Pyrolysis + pin điện hóa
Phương pháp lấy mẫu	loại hấp thụ (Tốc độ lấy mẫu: 0.5L/min, tự động điều khiển)
Ống lấy mẫu*1	Teflon – Đường kính ngoài: 6mm, Đường kính trong: 4mm, ống lấy mẫu: 0 – 20m
Hiển thị nồng độ	4-số LCD (với đơn vị đo), 20 – thang đo
Hiển thị cảnh báo	Cảnh báo khí (cấp 1 và cấp 2) – Cảnh báo: đèn LED đỏ nhấp nháy LCD – ALARM1 cho cảnh báo cấp 1, ALARM1 và ALARM2 cho cảnh báo cấp 2 Cảnh báo lưu lượng dòng thấp – Dấu hiệu tắc nghẽn: LCD – Dấu hiệu dòng chảy quay chậm – Cảnh báo: Đèn LED vàng nhấp nháy LCD –hiển thị dòng, Dấu hiệu dòng chảy dừng lại Cảnh báo lỗi cảm biến/Cảnh báo cảm biến đầu vào không đúng – Cảnh báo: Đèn LED màu vàng nhấp nháy LCD – SENS. hiển thị dây Pyrolyzer báo cảnh báo *2 – Cảnh báo: Đèn LED màu vàng nhấp nháy LCD – CONV. hiển thị
Đầu ra	– Tín hiệu đầu ra tương tự nồng độ khí: 4-20 mADC (chia sẻ với thiết bị đầu cuối nguồn điện) – Kết nối cảnh báo khí ( Cấp 1st và 2nd): 1a không điện áp kết nối/Non-latching) – Liên hệ báo động sự cố (Mở bộ thu/Non-latching)
Dây cáp sử dụng	3C hoặc 4C cáp điều khiển được bảo vệ (φ8-11mm) x 2
Nhiệt độ/ độ ẩm làm việc	0 đến 40 °C (Không thay đổi đột ngột) 30 đến 85 %RH (Không sương)
Nguồn cấp	24 VDC ±10%
Công suất tiêu thụ	Xấp xỉ. 7W
Kích thước	W62 X H124 X D143 mm (Không bao gồm tùy chọn và phần nhô ra)
Khối lượng	Xấp xỉ. 1.0kg
Lắp đặt	Treo tường
Chứng chỉ	CE, SEMI (Tiêu chuẩn vật liệu và thiết bị bán dẫn)

*1 Teflon được khuyến cáo sử dụng. Nhưng nó phụ thuộc vào điều kiện hoạt động khi khả năng hấp phụ khí cao, vì vậy hãy liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông tin. Các thông số kỹ thuật ở trên có thể thay đổi mà không cần thông báo trước.

*2 Chỉ sử dụng với model có pyrolyzer.

Danh sách khí đo (cảm biến)

Khí đo	Dải đo	Nguyên lý đo	Model No.
SiH4	5 / 25ppm	Điện hóa	CDS-7
PH3	1ppm
B2H6	500ppb
AsH3	250ppb
H2Se	250ppb
Si2H6	25ppm
SiH2Cl2	25ppm
GeH4	1ppm
NH3	100ppm
HF	10ppm
PF3	10ppm
HCl	5 / 25ppm
HBr	10ppm
F2	5ppm
Cl2	5ppm
ClF3	1ppm
O3	1ppm
CO	250ppm
H2S	50ppm
NF3	100ppm	điện hóa với pyrolyzer
CCl4	100ppm	điện hóa với pyrolyzer
H2	500 / 1000ppm	Dây bán dẫn nhiệt	CHS-7
O2	25vol%	Pin Galvanic	COS-7