XPS-7 Cosmos
1. MÔ TẢ XPS-7 Cosmos
XPS-7 Cosmos là máy đo khí dạng bơm hút cầm tay, máy được trang bị một ống lấy mẫu dài 1m và có khả năng đo được các loại khí trong nhà máy sản xuất chất bán dẫn.
Máy có thể thay cảm biến đo các nồng độ khí khác nhau rất đơn giản và thuận tiện.
Ví dụ: Nếu bạn đang sử dụng XPS-7 để đo Ozone (O3) nhưng lại cần đo thêm nồng độ Hydro Clorua (HCl) thì chỉ việc thay cảm biến đo khí Ozone trong máy bằng cảm biến đo khí HCl vào máy XPS-7. Tương tự nếu cần đo khí NH3 thì chỉ cần thay cảm biến đo khí NH3 (Amonia) vào cảm biến đo HCl là được.
2. THÔNG SỐ KỸ THUẬT MÁY ĐO KHÍ BÁN DẪN XPS-7 Cosmos
Hướng dẫn sử dụng tiếng Anh: Tại đây (XPS-7 Manual)
Hướng dẫn sử dụng tiếng Việt: Tại đây
| Model | XPS-7 |
| Nguyên lý đo | Pin điện hóa |
| Loại khí đo | Các loại khí trong nhà máy sản xuất bán dẫn |
| Phương pháp lấy mẫu | Hấp thụ |
| Dải đo | Tùy theo thông số kỹ thuật của khí |
| Độ phân dải | 1/100 toàn dải |
| Sai số hiển thị | ±10% toàn dải |
| Chế độ cảnh báo | Cảnh báo 2 cấp độ |
| Hiển thị cảnh báo | Âm thanh, đèn nháy |
| Thời gian tiếp xúc | 60s hoặc thấp hơn (60% tiếp xúc) |
| Nhiệt độ làm việc | 0 đến 40°C |
| Nguồn cấp | 4 pin x AA alkaline (*1) hoặc sử dụng bộ đổi nguồn AC |
| Tuổi thọ pin*2 | Lên đến 12 giờ (dùng pin Ankan ở 20 độ C) |
| Kích thước | W62 x H150 x D128mm (Không bao gồm phần nhô ra) |
| Khối lượng | Xấp xỉ. 1.3kg |
| Phụ kiện hính | Vòi lấy mẫu khí có đầu dò, dây đeo vai, Pin Ankan x 4, bộ lọc dự phòng |
| Phụ kiện tùy chọn | Bộ đổi nguồn AC (100 VAC/6 VDC), sensor stocker, log data collection kit |
*1 Trong điều kiện đo giống hệt nhau.
*2 Tuổi thọ pin có thể thay đổi theo điều kiện môi trường xung quanh, điều kiện sử dụng, thời gian lưu trữ, nhà sản xuất pin, v.v.
Danh sách khí đo (cảm biến)
|
Khí đo
|
Dải đo
|
Nguyên lý đo
|
Model No. |
|
SiH4
|
5 / 25ppm
|
CDS-7
|
|
|
PH3
|
1ppm
|
||
|
B2H6
|
500ppb
|
||
|
AsH3
|
250ppb
|
||
|
H2Se
|
250ppb
|
||
|
Si2H6
|
25ppm
|
||
|
SiH2Cl2
|
25ppm
|
||
|
GeH4
|
1ppm
|
||
|
100ppm
|
|||
|
HF
|
10ppm
|
||
|
PF3
|
10ppm
|
||
|
HCl
|
5 / 25ppm
|
||
|
HBr
|
10ppm
|
||
|
F2
|
5ppm
|
||
|
Cl2
|
5ppm
|
||
|
ClF3
|
1ppm
|
||
|
O3
|
1ppm
|
||
|
CO
|
250ppm
|
||
|
H2S
|
50ppm
|
||
|
NF3
|
100ppm
|
điện hóa với
pyrolyzer |
|
|
CCl4
|
100ppm
|
||
|
H2
|
500 / 1000ppm
|
Dây bán dẫn nhiệt
|
CHS-7
|
|
O2
|
25 vol%
|
COS-7
|
*Vui lòng liên hệ với đại diện của bạn cho các loại khí khác ngoài những loại được liệt kê.
3. VIDEO SẢN PHẨM
Máy đo khí bán dẫn XPS-7 có xuất xứ tại Nhật Bản và được sản xuất bởi hãng New-Cosmos.
Cảm biến đo khí tương tự: Cảm biến đo khí bán dẫn PS-7 Cosmos
Công Ty TNHH Thiết Bị và Dịch Vụ Quang Anh
Danh sách khí liên quan XPS-7 Cosmos
XPS-7 Cosmos
Loại khí khác :
Đo khí độc Carbon Tetrachloride CCl4
