Máy đo khí nhà máy bán dẫn
1. Máy đo khí nhà máy bán dẫn
Máy đo khí nhà máy bán dẫn là các thiết bị dùng để đo nồng độ của các loại khí độc có thể phát sinh trong nhà máy sản xuất chất bán dẫn.
Tùy từng nhà máy mà các chất khí độc phát sinh có thể có các loại khí khác nhau, ví dụ SiH4, SiH2Cl2, NF3, PH3 …
Công ty TNHH Thiết Bị và Dịch Vụ Quang Anh cung cấp các sản phẩm máy đo khí cầm tay, máy đo giám sát khí 24/24 chuyên dùng trong các nhà máy sản xuất chất bán dẫn.
Các thiết bị đo khí trong nhà máy bán dẫn sử dụng bơm hút để lấy mẫu – tăng độ chính xác và tính ổn định khi đo khí. Ngoài ra, thiết bị chỉ cần thay cảm biến và không cần hiệu chuẩn.
2. Danh sách khí đo (cảm biến)
|
Khí đo
|
Dải đo
|
Nguyên lý đo
|
Model No. |
|
5 / 25 ppm
|
CDS-7
|
||
|
1ppm
|
|||
|
500ppb
|
|||
|
250ppb
|
|||
|
250ppb
|
|||
|
25ppm
|
|||
|
25ppm
|
|||
|
1ppm
|
|||
|
100ppm
|
|||
|
10ppm
|
|||
|
10ppm
|
|||
|
5 / 25ppm
|
|||
|
10ppm
|
|||
|
5ppm
|
|||
|
5ppm
|
|||
|
1ppm
|
|||
|
1ppm
|
|||
|
250ppm
|
|||
|
50ppm
|
|||
|
100ppm
|
điện hóa với
pyrolyzer |
||
|
100ppm
|
|||
|
500 / 1000ppm
|
Dây bán dẫn nhiệt
|
CHS-7
|
|
|
25 vol%
|
COS-7
|
*Vui lòng liên hệ với đại diện của bạn cho các loại khí khác ngoài những loại được liệt kê: SO2 NO (Nitrogen Monoxide) NO2 (nitrogen Dioxide) CH3F C4F6 NF3 NOx…
3. Một số máy đo khí nhà máy bán dẫn
| Model | Mô tả |
Đầu cảm biến đo khí PS-7 Cosmos
 |
– Tín hiệu đầu ra tương tự nồng độ khí: 4-20 mADC (chia sẻ với thiết bị đầu cuối nguồn điện)
|
Máy đo khí NH3 XPS-7 Cosmos
 |
|
Máy đo khí nhà máy bán dẫn PS-8
Tủ cảnh báo kết nối: UV-810, NV-120, NV-100.
Danh sách khí liên quan máy đo khí nhà máy bán dẫn
Máy đo khí nhà máy bán dẫn
Loại khí khác :
| Đo khí Oxygen O2 Oxi Oxy | Đo khí H2 Hydro Hydrogen Hidro |
| Đo nồng độ và rò rỉ khí gas | Đo khí NH3 Ammonia Amoniac |
| Đo khí CO Carbon monoxide Cacbon monoxit | Đo khí trơ (Heli Argon …) |
| Đo 4 khí đa chỉ tiêu CO H2S LEL O2 CO2 … | Đo rò rỉ khí gas nén lạnh (R22, R23, R32, R134a, R407c …) |
| Đo khí VOC (Các hợp chất hữu cơ: Benzene Toluene Xylene MEK MIBK IPA …) | Đo khí độc (NO NO2 NOx SO2 NH3 HCl HF Cl2 F2 O3 H2S EO …) |
| Đo khí CO2 Carbon dioxide Cacbon dioxit |
Máy đo khí nhà máy bán dẫn |
