Cảm biến đo khí NF3 Nitrogen trifluoride PS-8
1. Cảm biến đo khí NF3 Nitrogen trifluoride PS-8
Cảm biến đo khí NF3 Nitrogen trifluoride PS-8 là thiết bị đo khí cố định sử dụng bơm hút được dùng để đo nồng độ của khí Nito triflorit trong không khí theo dải đo 0 – 30 ppm; 0 – 250 ppm hoặc 0 – 100 ppm
Cảm biến đo khí NF3 Nitrogen trifluoride PS-8 Cosmos trong tương lai có thể là thiết bị thay thế PS-7 NF3
Đặc điểm cảm biến đo khí NF3 Nitrogen trifluoride PS-8
- Thiết bị phát hiện khí cho nhà máy sản xuất chất bán dẫn.
- Các cảm biến thay thế được hiệu chuẩn trước bằng “Phương pháp Cosmos mới*”, loại bỏ nhu cầu hiệu chuẩn khí tại chỗ.
- Cảm biến bán dẫn hydride dây nóng độc quyền của chúng tôi có tuổi thọ cao (sắp ra mắt).
- Màn hình LCD lớn cho phép dễ dàng theo dõi tại chỗ chỉ bằng cái nhìn thoáng qua.
- Tương thích PoE giúp giảm bớt dây điện và kết nối PLC liền mạch.
- Truy cập phía trước để thay thế cảm biến dễ dàng.
- Các đơn vị phụ/mở rộng cho phép kết hợp các cảm biến dựa trên loại và lượng khí mong muốn.
*Phương pháp New Cosmos là gì?
Một phương pháp được giới thiệu vào năm 1997 giúp loại bỏ nhu cầu hiệu chuẩn khí tại địa điểm lắp đặt và giảm chi phí vận hành bằng cách tái chế cảm biến.
2. Thông số kỹ thuật cảm biến đo khí NF3 Nitrogen trifluoride PS-8
| Model | Máy chính: PS-8N, PS-8M Đơn vị phụ: PS-8S |
| Nguyên lý phát hiện cảm biến | Pin Galvanic |
| Phương pháp lấy mẫu | Kiểu hút bơm (khoảng 0,5L/phút ±20% điều khiển lưu lượng hút tự động) |
| Khí đo | NF3 |
| Phạm vi phát hiện | 0 – 30 ppm
0 – 100 ppm 0 – 250 ppm |
| HIển thị | Màn hình LCD đơn sắc hiển thị đầy đủ Nồng độ khí: Màn hình 5 chữ số (có đơn vị) Các thông số khác: Hiển thị tên khí, trạng thái lưu lượng, trạng thái cảnh báo (giai đoạn 1 và 2), hiển thị cảnh báo lỗi *Không có sẵn cho PS-8S. Hiển thị trên thiết bị chính |
| Giá trị cài đặt báo động | Dải đo 0 – 30 ppm: 3 ppm (Cấp 1) và 6 ppm (Cấp 2)
Dải đo 0 – 100 ppm: 10 ppm (Cấp 1) và 20 ppm (Cấp 2) Dải đo 0 – 250 ppm: 25 ppm (Cấp 1) và 50 ppm (Cấp 2) |
| Độ chính xác của báo động | Khí dễ cháy: ±25% giá trị cài đặt báo động (trong điều kiện tương đương) Khí độc: ±30% giá trị cài đặt báo động (trong điều kiện tương đương) Khí oxy: ±1vol% (trong điều kiện tương đương) |
| Độ trễ báo động | Khí dễ cháy: trong vòng 30 giây ở mức gấp 1,6 lần giá trị báo động Khí độc: trong vòng 60 giây ở mức gấp 1,6 lần giá trị báo động Thiếu oxy: trong vòng 5 giây ở mức 10 vol% cho đến khi nồng độ đạt 18 vol% (ở 20±2°C) (Không bao gồm chiều dài đường ống và thời gian thông tin liên lạc cho tất cả các loại khí được liệt kê ở trên) |
| Màn hình báo động | Báo động khí gas giai đoạn 1: Đèn LED báo động 1 (màu đỏ) nhấp nháy, màn hình LCD hiển thị ALARM1 Báo động khí gas giai đoạn 2: Đèn LED báo động 2 (màu đỏ) nhấp nháy, màn hình LCD hiển thị ALARM2 |
| Đầu ra bên ngoài | [Tín hiệu kỹ thuật số*1] ・PS-8M: Ethernet 10BASE-T/100base-Tx(Modbus/TCP) Modbus/TCP (Số lượng kết nối tối đa phụ thuộc vào cấu hình hệ thống) Khoảng cách truyền tối đa 100m (lên đến HUB) ・PS-8N, PS-8S: Không có *PS-8N: RS485 (Modbus-RTU) khi sử dụng mô-đun MR của đơn vị mở rộng [Tín hiệu tương tự nồng độ khí*2] ・PS-8N, PS-8M: DC4-20mA (cực âm chung với nguồn điện) (độ chính xác đầu ra: trong phạm vi FS ±0,5%) *0,6mA trở xuống khi xảy ra chỉ báo báo lỗi *300Ω trở xuống bao gồm điện trở dây dẫn [Tiếp điểm báo khí tập trung (giai đoạn 1 và 2), tiếp điểm chỉ báo báo lỗi tập thể*3] 1a tiếp điểm không điện áp/tự động trả về *Tải định mức: AC125V 0,5A hoặc DC30V 1,0A (điện trở * Các đầu ra tiếp điểm riêng lẻ yêu cầu một bộ mở rộng. |
| Chống cháy nổ | Không chống cháy nổ |
| Phạm vi nhiệt độ và độ ẩm hoạt động | 0℃ đến 40℃ (không có thay đổi đột ngột), 30 đến 85% RH (không có ngưng tụ) |
| Nguồn điện | ・PS-8N: DC24V±10% ・PS-8M: DC24V±10% hoặc PoE (Cấp nguồn qua Ethernet, IEEE 802.3at) ・PS-8S: Được cung cấp từ thiết bị chính |
| Tiêu thụ điện năng*4 | CDS-7: 3,5W (tối đa 5,2W) CDS-7 (loại chuyển đổi xúc tác): 4,0W (tối đa 5,9W) COS-7: 3,5W (tối đa 5,2W) CHS-7: 4,0W (tối đa 5,9W) |
| kích thước, khối lượng | ・PS-8N, PS-8M: Rộng 70mm x Cao 124mm x Sâu 172mm (không tính phần nhô ra ), xấp xỉ 850g (không tính cảm biến) ・PS-8S: Rộng 70mm x Cao 124mm x Sâu 172mm (không tính phần nhô ra), xấp xỉ 770g (không tính cụm cảm biến) |
*1 Chỉ có thể sử dụng Ethernet hoặc đơn vị mở rộng Modbus-RTU.
*2 Đầu ra tương tự của đơn vị chính chỉ dành cho đơn vị chính. Đầu ra tương tự của cảm biến được trang bị đơn vị phụ yêu cầu một đơn vị mở rộng (mô-đun AO).
Đơn vị mở rộng (mô-đun AO) cũng có thể xuất tín hiệu tương tự từ cảm biến được gắn trên đơn vị chính, cho phép kết nối nhiều lõi.
*3 Khi lắp đặt hai hoặc nhiều cảm biến bằng cách sử dụng các đơn vị phụ và sử dụng đầu ra tiếp điểm riêng lẻ, hãy sử dụng một đơn vị mở rộng (mô-đun DO).
Trong trường hợp này, các đầu ra riêng lẻ cho cảm biến được gắn trên đơn vị chính được xuất ra từ đơn vị mở rộng (tiếp điểm của đơn vị chính là đầu ra chung).
*4 Khi đầu ra tương tự và đầu ra kỹ thuật số được sử dụng đồng thời, mức tiêu thụ điện năng sẽ tăng lên.
3. Danh sách khí đo dùng cho cảm biến đo khí NF3 Nitrogen trifluoride PS-8
|
Khí đo
|
Dải đo
|
Nguyên lý đo
|
Model No. |
|
5 / 25ppm
|
CDS-7
|
||
|
1ppm
|
|||
|
500ppb
|
|||
|
250ppb
|
|||
|
250ppb
|
|||
|
25ppm
|
|||
|
25ppm
|
|||
|
1ppm
|
|||
|
100ppm
|
|||
|
10ppm
|
|||
|
10ppm
|
|||
|
5 / 25ppm
|
|||
|
10ppm
|
|||
|
5ppm
|
|||
|
5ppm
|
|||
|
1ppm
|
|||
|
1ppm
|
|||
|
250ppm
|
|||
|
50ppm
|
|||
|
100ppm
|
điện hóa với
pyrolyzer |
||
|
100ppm
|
|||
|
500 / 1000ppm
|
Dây bán dẫn nhiệt
|
CHS-7
|
|
|
25vol%
|
COS-7
|
*Vui lòng liên hệ với đại diện của bạn cho các loại khí khác ngoài những loại được liệt kê. (SO2 NO NO2 CH3F C4F6 NF3…)
*Tham khảo loại khí khác của PS-7 tại đây
Công Ty TNHH Thiết Bị và Dịch Vụ Quang Anh
Loại khí liên quan cảm biến đo khí NF3 Nitrogen trifluoride PS-8
Danh mục: Đo khí độc
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.