Máy đo khí SiH4 nhà máy bán dẫn

1. Máy đo khí SiH4 nhà máy bán dẫn

Máy đo khí SiH4 nhà máy bán dẫn là các thiết bị dùng để đo và cảnh báo nồng độ của khí Silan (Silic hydride) trong môi trường không khí.

Dải đo của thiết bị thường là 0 – 25 ppm (Mức cảnh báo 1.25 ppm và 2.5 ppm) hoặc  0 – 25 ppm (Mức cảnh báo 0.25 ppm và 0.5 ppm).

Với những loại khí độc như SiH4, thiết bị nên lấy mẫu dạng bơm hút để tăng tính ổn định và tập trung khi đo lường và cảnh báo rò rỉ.

Nếu một silan bị rò rỉ bị tắc nghẽn hoặc hạn chế, sự giải phóng năng lượng do sự đốt cháy tập trung hơn dẫn tới tốc độ phản ứng nhanh và vận tốc cháy lên đến sự nổ tung pha khí và dẫn đến các thiệt hại nghiêm trọng. Silane có thể tự cháy ở nhiệt độ dưới 54 °C (130 °F)

SiH₄(g) + 2O₂(g) → SiO₂(s) + 2H₂O(g)

2. Khi phát hiện rò rỉ khí SiH4 Silane

Phát hiện rò rỉ khí SiH4 Silane cần tuân thủ:

• SiH4 là khí dễ cháy, áp suất cao. Có thể bốc cháy tự phát khi tiếp xúc với không khí. Có thể tạo thành hỗn hợp nổ với không khí. Ngay lập tức sơ tán tất cả nhân viên khỏi khu vực nguy hiểm.
• Sử dụng thiết bị thở khép kín khi cần thiết.
• Loại bỏ tất cả các nguồn đánh lửa nếu an toàn để làm như vậy.
• Giảm nồng độ khí bằng sương mù hoặc tia nước nhỏ, cẩn thận không để chất lỏng lan truyền tới các nguồn nước khác nước.
• Ngắt nguồn cấp khí nếu an toàn để làm như vậy.
• Thông gió khu vực hoặc di chuyển thùng chứa đến khu vực thông gió tốt.
• Hơi rò rỉ dễ cháy có thể phát tán từ chỗ rò rỉ và có thể phát nổ nếu bị tia lửa hoặc ngọn lửa bùng phát.
• Môi trường dễ nổ có thể mở rộng.
• Trước khi vào khu vực, đặc biệt là các khu vực hạn chế, hãy kiểm tra bầu không khí bằng thiết bị thích hợp.

3. Các sản phẩm máy đo khí SiH4 nhà máy bán dẫn

Đầu cảm biến đo khí SiH4 PS-7 Cosmos

Đầu cảm biến đo dò khí độc Silan SiH4 PS-7 Cosmos

Dải đo: 0 – 25 ppm
Phân dải: 0.25 ppm
Ống lấy mẫu*1: Teflon – Đường kính ngoài: 6mm, Đường kính trong: 4mm, Chiều dài ống: 0 – 20m
Hiển thị nồng độ: 4-số LCD (với đơn vị đo), 20 – thang đo
Đầu ra:

– Tín hiệu đầu ra tương tự nồng độ khí: 4-20 mADC (chia sẻ với thiết bị đầu cuối nguồn điện)
– Kết nối cảnh báo khí ( Cấp 1st và 2nd): 1a không điện áp kết nối/Non-latching)
– Liên hệ báo động sự cố (Mở bộ thu/Non-latching)

Nhiệt độ/ độ ẩm làm việc: 0 đến 40 °C (Không thay đổi đột ngột) 30 đến 85 %RH (Không sương)
Nguồn cấp: 24 VDC ±10%

Máy đo khí SiH4 XPS-7 Cosmos

Máy đo khí độc cầm tay XPS-7 Cosmos

Dải đo: 0 – 25 ppm
Phân dải: 0.25 ppm
Chế độ cảnh báo: Cảnh báo 2 cấp độ
Nguồn cấp: 4 pin x AA alkaline (*1) hoặc sử dụng bộ đổi nguồn AC
Phụ kiện chính: Vòi lấy mẫu khí có đầu dò, dây đeo vai, Pin Ankan x 4, bộ lọc dự phòng.

Máy đo khí nhà máy bán dẫn PS-8

Tủ cảnh báo kết nối: UV-810, NV-120, NV-100.

Danh sách khí đo khác