Máy dò khí PH3 ngành bán dẫn

1. Máy dò khí PH3 ngành bán dẫn

Máy dò khí PH3 ngành bán dẫn là thiết bị dùng để đo, kiểm tra, cảnh báo nồng độ của khí Silan trong môi trường sản xuất của ngành bán dẫn với mức dải đo là 0 – 1 ppm và mức cảnh báo là 0,05 ppm. 

Vì ngành bán dẫn sử dụng khí đặc biệt như PH3 nhưng với độ tinh khiết rất cao > 99 vol% (>990,000 ppm), mà chỉ cần rỏ rỉ ra ngoài môi trường với mức trong khoảng 0 – 1 ppm đã có thể gây nguy hiểm nên các thiết bị dùng để đo, kiểm tra nồng độ khí Phosphine nên sử dụng loại lấy mẫu bằng bơm hút để đo nồng độ tập trung và ổn định, không nên sử dụng loại lấy mẫu khuếch tán vì khả năng phát hiện kém tập trung và cần làm việc ở không gian kín mới có thể phát huy hiệu quả. Mã CAS của PH3 là 7803 – 51 – 2

Ảnh hưởng của PH3 Phosphine đến sức khỏe:

• Ở nồng độ thấp: Khí PH3 gây kích ứng đường hô hấp trên, dẫn đến ho, khó thở, và cảm giác ngạt thở.
• Ở nồng độ cao hơn: Phosphine có thể gây tổn thương phổi, dẫn đến phù phổi cấp tính, một tình trạng nghiêm trọng có thể gây suy hô hấp và tử vong nếu không được điều trị kịp thời.
• Tiếp xúc lâu dài: Việc hít phải khí PH3 trong thời gian dài có thể làm suy giảm chức năng hô hấp, gây viêm phổi mạn tính và các bệnh lý hô hấp khác. Những người thường xuyên tiếp xúc với khí Phosphine mà không có biện pháp bảo hộ có nguy cơ cao mắc các bệnh đường hô hấp.

Khí PH3 còn gây độc theo đường hít thở. Nếu ngửi thấy khi pha thuốc diệt chuột hoặc đứng gần chất nôn, chất thải của người bị ngộ độc cũng có thể nhiễm độc. Đây là loại khí từng được ứng dụng làm vũ khí hóa học dùng trong chiến tranh thế giới thứ I. Hít phải khí PH3 sẽ gây cản trở khả năng sử dụng oxy của các tế bào.

• Mức giới hạn phơi nhiễm cấp tính (AEGL) do EPA quy định: Dao động từ 0,25 ppm đến 0,45 ppm tùy thuộc vào thời gian phơi nhiễm.
• Giới hạn TWA (Trung bình theo thời gian) do OSHA và NIOSH quy định: Thường được đặt ở mức 0,3 ppm cho một ngày làm việc 8 giờ.
• Giới hạn phơi nhiễm ngắn hạn do NIOSH quy định: Được đặt ở mức 1 ppm đối với phơi nhiễm ngắn hạn.

2. Các sản phẩm dò khí PH3 ngành bán dẫn

– Dải đo: 0 – 1 ppm – Phân dải: 0.01 ppm – Lấy mẫu: Bơm hút – Chế độ cảnh báo: Cảnh báo 2 cấp độ – Nguồn cấp: 4 pin x AA alkaline hoặc sử dụng bộ đổi nguồn AC – Phụ kiện chính: Vòi lấy mẫu khí có đầu dò, dây đeo vai, Pin Ankan x 4, bộ lọc dự phòng. – Thay cảm biến không cần hiệu chuẩn – Cảm biến thay thế đã được hãng hiệu chuẩn sẵn và cấp giấy chứng nhận kèm theo. Xem thêm: XPS-7 Phốt phin
– Dải đo: 0 – 1 ppm – Phân dải: 0.01 ppm – Lấy mẫu: Bơm hút – Output: 4 – 20mA – Nguồn cấp: 24 VDC – Nhiệt độ/độ ẩm: 0 – 40 độ C, 30 – 85%RH (Không sương) – Thay cảm biến không cần hiệu chuẩn – Cảm biến thay thế đã được hãng hiệu chuẩn sẵn và cấp giấy chứng nhận kèm theo. Xem thêm: PS-7 PH3
– Dải đo: 0 – 1 ppm – Phân dải: 0.01 ppm – Lấy mẫu: Bơm hút – Output: 4 – 20mA – Nguồn cấp: 24 VDC – Nhiệt độ/độ ẩm: 0 – 40 độ C, 30 – 85%RH (Không sương) – Thay cảm biến không cần hiệu chuẩn – Cảm biến thay thế đã được hãng hiệu chuẩn sẵn và cấp giấy chứng nhận kèm theo. – Model thay thế của PS-7 Xem thêm: PS-8 Phosphine

Tủ cảnh báo kết nối: UV-810, NV-120, NV-100

3. Thông tin nhà cung cấp

1. Công ty TNHH Thiết Bị và Dịch Vụ Quang Anh là đại lý chính hãng của hãng Cosmos tại Việt Nam (Có giấy chứng nhận).
2. Có CO CQ hãng Cosmos cung cấp.
3. Hỗ trợ hiệu chỉnh, hiệu chuẩn – đã được hãng Cosmos cấp chứng chỉ và đào tạo.
4. Hỗ trợ tài liệu hướng dẫn sử dụng tiếng Anh, tiếng Việt.
5. Hỗ trợ tư vấn lắp đặt, vận hành, sử dụng các thiết bị đo khí cố định liên tục 24/24.
6. Hỗ trợ tư vấn lắp đặt liên động hệ thống PCCC, quạt hút, thông gió …
7. Liên hệ: 0965.07.07.40 (Zalo, whatsapp, wechat …)