Máy dò khí SiH4 ngành bán dẫn

1. Máy dò khí SiH4 ngành bán dẫn

Máy dò khí SiH4 ngành bán dẫn là thiết bị dùng để đo, kiểm tra, cảnh báo nồng độ của khí Silan trong môi trường sản xuất của ngành bán dẫn với mức dải đo là 0 – 100 ppm và mức cảnh báo là 20 ppm.

Vì ngành bán dẫn sử dụng khí đặc biệt như SiH4 nhưng với độ tinh khiết rất cao > 99 vol% (>990,000 ppm), mà chỉ cần rỏ rỉ ra ngoài môi trường với mức trong khoảng 0 – 100 ppm đã có thể gây nguy hiểm nên các thiết bị dùng để đo, kiểm tra nồng độ khí SiH4 nên sử dụng loại lấy mẫu bằng bơm hút để đo nồng độ tập trung và ổn định, không nên sử dụng loại lấy mẫu khuếch tán vì khả năng phát hiện kém tập trung và cần làm việc ở không gian kín mới có thể phát huy hiệu quả.

– Nguy hiểm cháy nổ: Silan rất hoạt động và có thể tự bốc cháy, ngay cả khi pha loãng với khí trơ như Nitơ hoặc Argon. – Độc tính: Hơi độc, tiếp xúc nồng độ cao có thể gây hại cho sức khỏe, cần giới hạn tiếp xúc nghề nghiệp nghiêm ngặt. – Về vấn đề phơi nhiễm silane trong công việc của người lao động, Viện An toàn và Sức khỏe Nghề nghiệp Quốc gia Hoa Kỳ đã đặt ra giới hạn phơi nhiễm được khuyến nghị là 5 ppm (7 mg/m 3) trên mức trung bình theo thời gian tám giờ. – Hỗn hợp silan pha loãng với khí trơ như nitơ hoặc argon thậm chí còn dễ bắt lửa hơn khi rò rỉ ra không khí so với silan nguyên chất: ngay cả hỗn hợp 1% (10,000 ppm) silan trong nitơ nguyên chất cũng dễ bắt lửa khi tiếp xúc với không khí.

2. Các sản phẩm dò khí SiH4 ngành bán dẫn

– Dải đo: 0 – 100 ppm – Phân dải: 1 ppm – Lấy mẫu: Bơm hút – Chế độ cảnh báo: Cảnh báo 2 cấp độ – Nguồn cấp: 4 pin x AA alkaline hoặc sử dụng bộ đổi nguồn AC – Phụ kiện chính: Vòi lấy mẫu khí có đầu dò, dây đeo vai, Pin Ankan x 4, bộ lọc dự phòng. – Thay cảm biến không cần hiệu chuẩn – Cảm biến thay thế đã được hãng hiệu chuẩn sẵn và cấp giấy chứng nhận kèm theo. Xem thêm: XPS-7 SiH4
– Dải đo: 0 – 100 ppm – Phân dải: 1 ppm – Lấy mẫu: Bơm hút – Output: 4 – 20mA – Nguồn cấp: 24 VDC – Nhiệt độ/độ ẩm: 0 – 40 độ C, 30 – 85%RH (Không sương) – Thay cảm biến không cần hiệu chuẩn – Cảm biến thay thế đã được hãng hiệu chuẩn sẵn và cấp giấy chứng nhận kèm theo. Xem thêm: PS-7 SiH4
– Dải đo: 0 – 100 ppm – Phân dải: 1 ppm – Lấy mẫu: Bơm hút – Output: 4 – 20mA – Nguồn cấp: 24 VDC – Nhiệt độ/độ ẩm: 0 – 40 độ C, 30 – 85%RH (Không sương) – Thay cảm biến không cần hiệu chuẩn – Cảm biến thay thế đã được hãng hiệu chuẩn sẵn và cấp giấy chứng nhận kèm theo. – Model thay thế của PS-7 Xem thêm: PS-8 SiH4

Tủ cảnh báo kết nối: UV-810, NV-120, NV-100

3. Thông tin nhà cung cấp

1. Công ty TNHH Thiết Bị và Dịch Vụ Quang Anh là đại lý chính hãng của hãng Cosmos tại Việt Nam (Có giấy chứng nhận).
2. Có CO CQ hãng Cosmos cung cấp.
3. Hỗ trợ hiệu chỉnh, hiệu chuẩn – đã được hãng Cosmos cấp chứng chỉ và đào tạo.
4. Hỗ trợ tài liệu hướng dẫn sử dụng tiếng Anh, tiếng Việt.
5. Hỗ trợ tư vấn lắp đặt, vận hành, sử dụng các thiết bị đo khí cố định liên tục 24/24.
6. Hỗ trợ tư vấn lắp đặt liên động hệ thống PCCC, quạt hút, thông gió …
7. Liên hệ: 0965.07.07.40 (Zalo, whatsapp, wechat …)