Cảm biến AsH3 nhà máy bán dẫn
1. Cảm biến AsH3 nhà máy bán dẫn
Cảm biến AsH3 nhà máy bán dẫn là thiết bị có thể kiểm tra nồng độ của khí Arsine (Arsin) trong môi trường không khí liên tục 24/24. Khi nồng độ khí AsH3 đo được đạt mức cảnh báo cấp 1 (25 ppb) và cảnh báo cấp 2 (50 ppb) sẽ phát tín hiệu cảnh báo cho người dùng được biết.
– Dải đo khí AsH3 Arsine mặc định thường là 0 – 250 ppb, và có độ phân dải (bước nhảy) của cảm biến thường là 2.5 ppb. (ppb – part per billion – phần tỷ)
1 tỷ phân tử khí khác nhau mà trong đó có 1 phân tử AsH3 thì nồng độ của AsH3 được tính là 1 ppb.
– Cảm biến cảnh báo AsH3 Arsine kết nối với bộ hiển thị qua dây dẫn, truyền tín hiệu thu được về bộ hiển thị trên control panel để có thể liên động sang hệ thống còi đèn mở rộng, hệ thống thông gió, hệ thống khí tươi, quạt thông gió hoặc hệ thống phòng cháy chữa cháy … tùy theo yêu cầu của khách hàng.
– AsH3 (78 g/mol) đôi khi còn được gọi là Asen hiđrua / Arsenic trihiđrua, là khí nặng hơn hơn không khí (29 g/mol) nên khi rò rỉ nó vẫn chìm xuống và thường nằm ở những nơi thấp như sàn, nền và tích tụ ở những nơi kín gió.
Nếu lắp đặt cảm biến cảnh báo AsH3 Arsine hoặc sử dụng máy đo khí AsH3 Arsin thường đo trên nền, sàn với chiều cao khoảng 12 – 14 cm so với mặt sàn; xa nơi có quạt thông gió, xa quạt điều hòa, xa lỗ thông hơi, xa cửa sổ, xa cửa ra vào …
– Cảm biến cảnh báo AsH3 Arsin thường dùng kiểu lấy mẫu dạng bơm hút vì AsH3 rất độc hại đối với sức khỏe con người. (Xin xem thêm phần 2)
– Hiện nay, ở Việt Nam chưa có nhiều đơn vị có đủ chức năng hiệu chuẩn/calib/hiệu chỉnh các cảm biến cảnh báo AsH3 Arsine. Vì vậy, khi mua thiết bị quý khách hàng cần hết sức lưu ý đến vấn đề hậu mãi sau khi mua sản phẩm.
Việc hiệu chuẩn/hiệu chỉnh/calib định kì được các tổ chức ISO giám sát và đánh giá rất gắt gao. Các thiết bị đo cảnh báo khí AsH3 là loại thiết bị đo lường nhóm 2, cần hiệu chuẩn/kiểm định hằng năm.
2. Tại sao phải đo khí độc Arsine AsH3
Arsin là một hợp chất vô cơ với công thức hóa học được quy định là AsH3. Hợp chất này tồn tại dưới dạng khí pnictogen hydrua này là chất dễ bắt lửa, gây cháy nổ, và độc hại cao và cũng là một trong những hợp chất đơn giản nhất của arsen.
Các dấu hiệu đầu tiên của phơi nhiễm, có thể mất vài giờ để trở nên rõ ràng, là nhức đầu, chóng mặt và buồn nôn, tiếp theo là các triệu chứng thiếu máu huyết. Trong trường hợp nặng, tổn thương thận có thể kéo dài.
Tiếp xúc với nồng độ arsin 250 ppm là gây tử vong nhanh: nồng độ 25-30 ppm gây tử vong trong 30 phút tiếp xúc, và nồng độ 10 ppm có thể gây tử vong trong thời gian tiếp xúc lâu hơn. Các triệu chứng ngộ độc xuất hiện sau khi tiếp xúc với nồng độ 0,5 ppm.
Khí AsH3 Arsine là một chất độc hại cực mạnh đối với máu . Nó được coi là nguy hiểm ngay cả ở nồng độ cực thấp vì không màu và thường không mùi, khiến việc phát hiện nó trở nên khó khăn nếu không có thiết bị chuyên dụng.
Giới hạn phơi nhiễm nghề nghiệp
– OSHA PEL: Giới hạn phơi nhiễm cho phép là 0,05 ppm tính trung bình trong ca làm việc 8 giờ.
– NIOSH REL: Giới hạn phơi nhiễm khuyến nghị là 0,002 mg/m³ (khoảng 0,002 ppm) trong khoảng thời gian 15 phút.
– NIOSH IDLH: Nồng độ được coi là nguy hiểm ngay lập tức đến tính mạng hoặc sức khỏe là 3 ppm.
3. Các cảm biến AsH3 nhà máy bán dẫn
| Thông số kỹ thuật | Hình ảnh sản phẩm |
| – Lấy mẫu: Bơm hút – Dải đo: 0 – 250 ppb – Độ phân dải: 2.5 ppb – Cảnh báo: Đèn nháy – Output: 4-20 mA, tiếp điểm 1a không điện áp – Nhiệt độ làm việc: 0 đến 40°C – Nguồn cấp: 24 VDC – Thay cảm biến không cần hiệu chuẩn (Hãng cấp giấy hiệu chuẩn kèm cảm biến thay thế) Model: PS-7 AsH3 |
|
| – Lấy mẫu: Bơm hút – Dải đo: 0 – 250 ppb – Độ phân dải: 2.5 ppb – Cảnh báo: Đèn nháy – Output: 4-20 mA, tiếp điểm 1a không điện áp, Modbus/TCP, RS485 (Khách hàng lựa chọn) – Nhiệt độ làm việc: 0 đến 40°C – Nguồn cấp: 24 VDC – Thay cảm biến không cần hiệu chuẩn (Hãng cấp giấy hiệu chuẩn kèm cảm biến thay thế) Model: PS-8 AsH3 (Thay thế PS-7) |
|
Tủ cảnh báo kết nối: UV-810, NV-120, NV-100
– Các cảm biến cảnh báo AsH3 cũng thường được gọi chung là đầu dò, sensor. Tuy nhiên, đầu dò khí là thiết bị hoàn chỉnh, chỉ cần cấp nguồn là có thể sử dụng.
– Ngoài ra, đầu dò khí còn có các tùy chọn về output (4 – 20mA, RS 485, NO NC …) nhưng vẫn thường được gọi chung là sensor, cảm biến.
4. Ứng dụng của AsH3 Arsine trong đời sống
Khí AsH₃ (Arsine) là một loại khí độc hại, không màu, được dùng trong ngành bán dẫn làm nguồn cung cấp nguyên tố Asen (As). Người ta dùng khí này để tạo ra các lớp màng bán dẫn hợp chất như Gallium Arsenide (GaAs) hoặc làm chất pha tạp (doping) cho các thiết bị vi điện tử, vi mạch và đi-ốt quang.
Vai trò trong sản xuất bán dẫn
– Chế tạo vật liệu GaAs: Dùng trong phương pháp lắng đọng hơi hóa học (CVD) để làm vật liệu nền cho vi mạch tốc độ cao và laser.
– Pha tạp loại n (N-type doping): Cung cấp nguyên tố Asen để thay đổi tính chất điện của tấm wafer silic hoặc chất bán dẫn khác.
4. Thông tin nhà cung cấp
- Công ty TNHH Thiết Bị và Dịch Vụ Quang Anh là đại lý chính hãng của hãng Cosmos tại Việt Nam (Có giấy chứng nhận).
- Có CO CQ hãng Cosmos cung cấp.
- Hỗ trợ hiệu chỉnh, hiệu chuẩn – đã được hãng Cosmos cấp chứng chỉ và đào tạo.
- Hỗ trợ tài liệu hướng dẫn sử dụng tiếng Anh, tiếng Việt.
- Hỗ trợ tư vấn lắp đặt, vận hành, sử dụng các thiết bị đo khí cố định liên tục 24/24.
- Hỗ trợ tư vấn lắp đặt liên động hệ thống PCCC, quạt hút, thông gió …
- Liên hệ: 0965.07.07.40 (Zalo, whatsapp, wechat …)
Công Ty TNHH Thiết Bị và Dịch Vụ Quang Anh
Máy đo khí AsH3 không hiệu chuẩn
Hiệu chuẩn máy đo khí Cl2 Clo Chlorine
Dải đo khí Cl2 Clo thiết bị PS-7 PS-8
Máy đo khí Clo Cl2 ngành thủy sản
Cảm biến bán dẫn đo khí độc Cl2 H2S
Máy đo khí Clo Cl2 trong không khí
Máy dò khí SiH4 Silane ngành bán dẫn
Hiệu chuẩn máy đo khí SiH4 Silane Silan
Dải đo khí SiH4 Silan PS-7 PS-8
Máy đo khí SiH4 Silane nhà máy bán dẫn
cảm biến AsH3 nhà máy bán dẫn Arsin
